Магнетронная распылительная система. изучение конструкции и принципа действия

Для упрощения операции сборки магнетрона и замены мишеней предусмотрена возможность частичной разборки. Для установки либо замены мишени достаточно снять прижим. Разрабатываемый магнетрон предназначен для распыления мишеней диаметром 80 мм и толщиной 5-7 мм.